국내 연구진, 산화갈륨 소재·소자 기술 국산화

[더테크=조재호 기자] 국내 연구진이 차세대 전력반도체로 불리는 산화갈륨 전력반도체의 핵심소재 및 소자 공정 기술 개발에 성공했다. 일본과 미국이 기술적 우위에 있던 분야로 이번 기술 개발로 그 격차를 좁혔다. 한국전자통신연구원(ETRI)는 한국세라믹기술원(KICET)과 함께 국내 최초로 3kV급 산화갈륨 전력반도체 금속 산화막 반도체 전계효과 트랜지스터 ‘모스펫’ 소자 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 전력반도체 소자는 소부장 관련 12대 국가전략기술 중 하나다. 이동통신, 전기차, 태양광·풍력발전, 전력전송, 국방, 우주항공, 양자컴퓨터 등 국가 산업 전반에 쓰이는 핵심 부품이다. 현재 95% 이상 해외 수입에 의존하고 있다. 따라서 이번 소재·소자 기술의 국산화는 국가 전략기술의 자립화 측면에서 매우 큰 의미를 지녔다. 연구진이 개발에 성공한 산화갈륨 에피 소재 기술은 단결정 기판 위에 고품질 전도성을 갖는 여러 층의 박막을 성장시키는 공정이다. 전대우 KICET 박사 연구팀은 금속유기화학기상증착법을 활용해 고품질 베타 산화칼륨 에피소재 성장 기술의 국산화에 성공했다. 해당 기술은 에피소재의 두께를 1나노미터(nm) 크기에서 1마이크로미터(㎛) 단위까지

• 조재호 기자
• 2024-02-01 15:11