아이지, 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발

[더테크 이지영 기자] 아이지가 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공해 본격적인 공급에 나섰다고 23일 밝혔다. 반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다. 반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다. 전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있다. 또한 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다. 아이지 관계자는 "플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있다"면서며 "앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다"고 말했다. 아이지가 이번에 개발한 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립

• 이지영 기자
• 2024-09-23 09:42