엑스선 현미경으로 반도체 내부 진단한다

KAIST 박용근 교수 연구팀, 기존 엑스선 현미경의 해상도 한계 극복하는 원천기술 개발
전자현미경의 해상도 수준인 1 나노미터 부근까지 근접

2023.04.12 12:55:03
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