재료연, 반도체 세라믹 부품 국산화 ‘쾌거’

내플라즈마성 세라믹 나노복합체 신조성 및 공정 기술 국내 최초 개발
기존 사파이어, 이트리아 보다 낮은 식각율 실현

2023.03.22 11:13:33
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