가시광선으로 반도체 소재에 미세패턴 그린다

UNIST, 펨토초 레이저 활용한 차세대 광시야 포토리소그래피 개발
반도체 소재를 나노미터 수준에서 빠르고 자유자재로 조각

2023.03.09 12:55:24
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