[더테크 (THE TECH)] 자이스, SEMICON 2022 참가…웨이퍼 대면적 3D 계측 솔루션 선보여

자이스, SEMICON 2022 참가…웨이퍼 대면적 3D 계측 솔루션 선보여

3D원 이미징 기술 활용해 V NAND 및 300mm 메모리 웨이퍼에서 대면적 측정 수행
포토마스크 솔루션, EUV 포토마스크의 Repair 및 Tuning 장비 등 함께 공개

2022.01.14 09:33:13

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자이스, SEMICON 2022 참가…웨이퍼 대면적 3D 계측 솔루션 선보여

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