[더테크 (THE TECH)] 기계연, 선폭 400㎚급 레이저 직접 리소그래피 개발

기계연, 선폭 400㎚급 레이저 직접 리소그래피 개발

국내 최초로 평면 및 비평면 기판 위에 400㎚ 수준의 패턴 구현 성공
반도체, 바이오센서, 의료 소자 등 제조장비 국산화로 외산기술 대체 기대

2021.08.12 14:11:00

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