[더테크 뉴스]  반도체 소재 기업인 램테크놀러지는 초고순도 불화수소를 동시에 생산하는 기술을 개발해 특허를 취득했다고 22일 밝혔다.

이번 초고순도 불화수소 생산기술은 초고순도 불화수소의 기존방식과는 다르게, 한번에 액체와 기체형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산이 가능한 것이 특징이다. 

램테크놀러지의 불화수소 순도는 불순물을 0.1ppt(1ppt는 10조분의 1일) 이하로 낮춘 초고순도 현존하는 불화수소중 가장 순도가 높다. 불화수소(HF)는 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다. 

업계에서 '초고순도 불화수소'는 통상 99.9999%(6N) 이상의 순도인 기체를 의미하는데, 램테크놀러지의 불화수소 순도는 99.999999999999999%(15N) 수준으로 불화수소 순도를 높였다. 

회사 측은 "이는 현존하는 초고순도 불화수소 중 가장 순도가 높다"며 "세계 최고의 기술력으로 일본 기술력을 앞섰다며, 당진 제1신축공장 증설과 내부 검토 중인 용인 반도체클러스터 제2신축공장 증설이 탄력을 받고 초고순도 불화수소 국산화가 강화될 것"이라고 전망했다.